半导体技术核心期刊

主管单位：信息产业部

主办单位：中国电子科技集团公司第十三研究所

国际刊号：1003-353X

国内刊号：13-1109/TN

期刊周期：月刊

期刊级别：核心期刊

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　　《半导体技术》以严谨风格，权威著述，在业内深孚众望，享誉中外，对我国半导体事业的发展发挥了积极的作用。

　　本刊坚持为社会主义服务的方向，坚持以马克思列宁主义、毛泽东思想和邓小平理论为指导，贯彻“百花齐放、百家争鸣”和“古为今用、洋为中用”的方针，坚持实事求是、理论与实际相结合的严谨学风，传播先进的科学文化知识，弘扬民族优秀科学文化，促进国际科学文化交流与合作。

　　研究报告;文献综述;简报;专题研究

　　SiN钝化对W波段AlGaN/GaN HEMT射频性能的影响　　李保第吕元杰崔玉兴付兴昌

　　FA/O精抛液组分对Cu/Ta CMP去除速率的影响　　胡轶何彦刚岳红维刘玉岭

　　晶硅衬底参数对背接触太阳电池性能的影响　　周涛陆晓东张鹏夏婷婷

　　图案化GaAs衬底外延InP局域表面成核层生长　　戚永乐张瑞英张震王岩岩朱健孙玉润赵勇明董建荣王庶民

　　集成电路封装级失效及其定位　　张蓬鹤陈选龙刘丽媛林道谭何胜宗

　　GaAs低噪声放大器的抗静电设计　　董毅敏厉志强

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